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国内首条年产千吨黑色光阻示范生产线建成

中国科普网讯(记者张爱华 )我国LCD制造用高端超纯材料的关键技术取得重大突破,并已在江苏省宜兴建成国内首条年产1000吨黑色光阻示范生产线。这意味着,长期受国外垄断的微电子高端材料开始走向国产化,并为我国微电子及相关产业走出依赖困境起到重要的引领作用。

北京化工大学、江苏博砚科技有限公司,4月18日在京联合召开国家重点研发与产业化项目推进会。江苏博砚电子科技有限公司董事长宗健说,有资料显示,2017年我国进口芯片花费2072亿美元。从材料来看,目前国内自我供给仅占总需求10%左右。这种被动局面继续存在,将对我国信息安全及产业发展带来潜在风险。

微电子产业是我国国民经济的支柱产业,也是重点发展的战略性新兴产业。但是,这个领域的核心技术、关键装备与材料是我国产业的短腿,长期受到欧美、日本等国家和地区的垄断与封锁。黑色光阻材料是LCD制造中的关键材料,目前,国际上主要生产企业是日本TOK、新日铁化学和三菱化学,占据全球市场95%份额。

自2014年起,江苏博砚聘请多领域具有开发经验的外国专家组成攻关组,并与北京化工大学成立联合研究中心,组成了一个拥有40多人的高水平的国际化技术团队进行协同工作,加速推进黑色光阻材料的研发与产业化。


北京化工大学党委书记王芳认为,目前,中美博弈到了关键时刻,尤其是美国商务部禁止美国公司向中兴通讯销售零部件产品,令相关领域企业倍感担忧。事实证明,核心技术买不来,只有靠自己,中国特色的产学研道路才能将打破垄断、掌握核心技术做成功。微电子加工用高端超纯化学品项目,能够快速在关键技术上实现突破与量产,就是一个成功的范例。

江苏博砚在开发过程中,从活性单体的筛选和控制、色浆细度控制和稳定、产品配方设计和优化、最终使用条件匹配和宽容度优化等方面开展了深入研究,提出了高垂直性的解决方案,完成了系列黑色光阻材料的开发工作。尤其是全新具有高阻抗性质的产品,同时实现了高的遮光性能和高的电绝缘性。黑色光阻材料已通过中国石油和化学工业联合会组织的技术成果鉴定,申请了10项发明专利。


北京化工大学理学院院长聂俊介绍,该校主持承担的“微电子加工用高端超纯化学品”是国家重点研发与产业化项目,自去年启动以来通过产学研合作,突破了微电子加工用高端电子化学品超纯化处理技术瓶颈,实现微电子加工用高感度光引发剂和弱碱显影树脂的结构设计及超纯化规模制备,并将在国内建成超纯三甲基铝(7N级)、纳米色浆、光阻材料生产线、建立光阻材料的性能评价平台,实现从原材料至最终产品的自主配套。